加急见刊

聚合物光波导45°反射面形成工艺研究

赵飞; 陈雨; 肖垣明; 卢立东 中国电子科技集团公司第五十四研究所; 河北石家庄050081; 河北诺亚人力资源开发有限公司; 河北石家庄050035

摘要：为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用.基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程.针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得线宽精度高和传输损耗低的光波导结构.通过对该结果测试表明,传输特性满足使用要求,可作为通信的重要手段.

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