加急见刊

确定BAW梯形滤波器阶数的方法

高杨; 贾乐; 韩超 中国工程物理研究院电子工程研究所; 四川绵阳622999; 西南科技大学信息工程学院; 四川绵阳621010; 中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室; 北京100049

摘要：为确定体声波（BAW）梯形滤波器的阶数,使用仿真法研究了滤波器的带外抑制与并、串联薄膜体声波谐振器（FBAR）的电容比Cps和滤波器阶数N的关系。基于FBAR的Mason解析电路模型构建了1-6阶BAW梯形滤波器,Cps取值为1-6,对1-6阶BAW梯形滤波器进行仿真,取滤波器的左带外抑制进行统计并绘制曲线图。此外,BAW梯形滤波器的阶数可包括半阶数,用同样仿真法改变阶数（N=1.5,…,5.5）对滤波器进行仿真。仿真结果表明,当Cps一定时,带外抑制基本随滤波器的阶数等量增加。当滤波器的阶数一定时,带外抑制随Cps的增加而增加。在优化设计时,并、串联FBAR谐振器区面积比（即Cps）一般设置为1-4,在此范围内滤波器阶数每增加一阶,带外抑制平均增加约10dB;滤波器的阶数增加半阶时,带外抑制约增加整阶数的一半,即5dB,而此时通带内的插损基本保持不变。故设计滤波器时,根据设计指标中的带外抑制可初步确定滤波器的阶数。

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