加急见刊

一体双驱对称式压电悬臂梁微驱动器

寻之宇; 张卫平; 周岁; 欧彬 微米/纳米加工技术部级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室、上海市北斗导航与位置服务重点实验室、上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系; 上海200240

摘要：设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线。将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性。

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