加急见刊

图像式角位移测量技术研究进展与展望

贾兴丹; 万秋华; 于海; 赵长海; 杜颖财 中国科学院大学长春光学精密机械与物理研究所; 吉林长春130033; 中国科学院大学; 北京100049

摘要：图像式角位移测量技术是采用数字图像处理技术实现光电位移精密测量的新兴技术。因其较传统莫尔条纹技术更能在小尺寸光栅码盘下实现高精度、高分辨力的角位移测量,已成为当前的研究热点之一。为了进一步研究图像式角位移测量技术,本文系统的对现有的使用图像探测器的测量技术进行了分析,总结了国内外发展现状的优缺点,并对图像式角位移测量技术的发展进行了展望,为高精度高分辨力角位移测量技术的研究提供依据。

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