加急见刊

基于表面图像锐度的LIBS自动对焦方法

王华东; 付洪波; 贾军伟; 周琪琪; 倪志波; 董凤忠 中国科学院安徽光学精密机械研究所光子器件与材料安徽省重点实验室; 合肥230031; 中国科学技术大学; 合肥230026

摘要：利用自行设计的集成微区成像激光诱导击穿光谱系统,分析了孔径光阑设定、目标区域大小以及样品表面反射率对表面图像位置敏感特性的影响.结果表明,表面图像锐度在大孔径设定下对位置更为敏感,适用于自动对焦过程;反射率对表面图像锐度的位置敏感特性影响较小,且部分表面图像的锐度也可用于辅助激光诱导击穿光谱对焦;不同样品不同目标区域大小,图像锐度最大值对应表面位置具有很好r的重复性.在此基础上,建立了基于表面图像锐度的自动对焦方法.

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