加急见刊

氮化硅陶瓷球研磨抛光技术研究进展

肖晓兰; 阎秋生; 林华泰; 焦竞豪; 刘杰 广东工业大学机电工程学院; 广东广州510006; 广州番禺职业技术学院机电工程学院; 广东广州511483

摘要：氮化硅陶瓷球是重大装备中轴承的关键基础元件,球体的超精密研磨抛光质量是影响轴承性能与寿命的重要因素.本文从加工方法的角度,总结了陶瓷球研磨抛光技术的研究进展,对不同的陶瓷球超精密复合抛光方法进行了比较分析,并提出了一种新型抛光方法,即集群磁流变抛光陶瓷球的方法.该方法初步测试显示,经3 h的抛光,氮化硅陶瓷球的表面粗糙度Ra由50 nm下降到5 nm,球度达到0.11～0.22μm.

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