加急见刊

新型MEMS电容真空传感器的设计及其分析

王呈祥; 李得天; 曹生珠; 成永军; 孙雯君; 韩晓东; 李刚 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 兰州730000

摘要：为了延伸MEMS电容式真空传感器测量范围、提高抗过载能力,设计了一种新型岛状结构下电极。利用有限元方法分析该结构与传统结构真空传感器的压力-挠度、压力-电容、压力-薄膜应力关系。研究发现,与传统结构相比,新型结构真空传感器的低压灵敏度更高、线性输出性能更好、抗过载能力更强,可为MEMS电容式真空传感器研制提供参考。

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