加急见刊

准分子激光微加工应用研究进展

何立文; 方晓东 合肥工业大学电子科学与应用物理学院; 安徽合肥230009; 中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室; 安徽合肥230031

摘要：准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区（Heat affected zone, HAZ）,有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统（Micro-electro-mechanical system, MEMS）材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。

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