扫描电镜和电子探针对比测试碲在镍合金中的分布
摘要：在镍合金表面电镀碲薄膜,在不同温度下对样品进行不同时间的真空热处理,以研究碲元素在镍基合金中的扩散分布情况。使用扫描电镜（SEM）配置能谱仪（EDS）和电子探针（EPMA）分别测试某一热处理工艺条件的试验试样,印证了EPMA在元素较低含量方面测试的独特优势。最后从多方面总结对比了SEM配置EDS和波谱仪（WDS）附件与EPMA的不同特点,说明在微区观察方面,SEM具有较突出的优势,而在微区分析方面,EPMA具有不可替代的特点。
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