加急见刊

微系统技术现状及发展综述

马福民; 王惠 海装西安局; 陕西西安710000; 成都宏明电子股份有限公司; 四川成都610100

摘要：电力电子产品系统逐渐向小型化、高度集成化的方向发展,微系统汇集了多门学科技术的创新与突破,无论在军事还是民用领域已有广泛的应用。本文详述了国内外微系统技术的现状和发展趋势,其技术创新点在于多功能芯片一体化、智能传感、异质集成、堆叠式系统级封装技术的突破和新型半导体材料的应用;文末总结了微系统技术发展的意义,并提出展望。

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