加急见刊

微机械陀螺冲击特性及可靠性研究

何春华; 赵前程; 杨振川; 张大成; 闫桂珍 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术部级重点实验室; 北京100871; 美的集团; 广东佛山528311

摘要：为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当脉宽对应的冲击频率与陀螺固有频率越接近,并且陀螺品质因子和冲击加速度幅值越大时,则冲击带来的影响就越大,梁越容易发生断裂失效。因此要使MEMS陀螺具有较强的抗冲击能力,必须综合优化设计陀螺的真空度和固有频率。

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