加急见刊

退火温度对Al掺杂ZnO薄膜结构和光学性质的影响

于富成; 胡海龙; 李海山; 宋天云; 许博宇; 何玲 兰州理工大学材料科学与工程学院; 甘肃兰州730050

摘要：采用溶胶-凝胶法在石英衬底上沉积Al掺杂的ZnO（AZO）纳米薄膜,研究了退火温度对薄膜的结构和光学性质的影响.结果表明：AZO薄膜呈c轴择优取向的纤锌矿结构.在一定的温度范围内,晶粒尺寸的大小随退火温度的升高而增加.当退火温度为900℃时,样品表面平整致密,样品可见光区的透射率达80%.当温度上升1 000℃时,晶粒尺寸达到最大,但样品表面出现裂纹,可见光区域的透射率下降.进一步提高退火温度则由于热缺陷导致了结晶质量的退化,一定范围内退火温度的升高能够提高样品的晶体中原子排列的有序性,有助于晶粒的长大,但同时也增加了样品内氧空位（Vo）和锌间隙（Zni）的缺陷浓度.

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